由于在職業活動過程中，長期吸入含有游離二氧化硅的生產性粉塵，粉塵沉積在呼吸性支氣管和肺泡壁上，長期儲留余肺內，巨噬細胞在吞噬進入肺泡的粉塵后，在SiO2的作用下，遭受損傷和死亡，產生大量致纖維化因子，引起肺間質的廣泛纖維化，使肺組織喪失彈性。

    影響塵肺病發病的因素主要有三種：一是粉塵的性質。游離二氧化硅具有極強的細胞毒性和致纖維化作用，還是國際癌癥研究機構認定的肯定的人類致癌物。粉塵中游離二氧化硅含量的多少與該粉塵致纖維化得程度密切相關，游離二氧化硅越高，致肺纖維化的作用就越強、進展越快，病變最嚴重。二是粉塵顆粒的大小和比重。一般說，顆粒直徑較大的粉塵往往通過粘液分泌或氣管粘膜上皮細胞纖毛運動隨痰排出，只有直徑小于7微米的呼吸性粉塵才有可能進入肺臟，沉積在呼吸性支氣管和肺泡壁上，長期儲留余肺內的結果，導致肺間質的廣泛纖維化。三是接觸時間的長短和接觸量。接觸時間越長，作業場所粉塵的濃度越高，進入肺泡、在肺泡積累的粉塵就越多，危害也就越大。